便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定。

   它主要由電器測(cè)量份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架。

   為減小體積，本儀器用同塊數(shù)字表測(cè)量電及阻率。樣品測(cè)試電由寬的恒源提供，隨時(shí)可行校準(zhǔn)，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分選材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量誤差不過±5%，在此范圍內(nèi)達(dá)到家標(biāo)準(zhǔn)二機(jī)的水平。

2、測(cè)試儀結(jié)構(gòu)及原理

測(cè)試主機(jī)由主機(jī)板、前面板、后背板及機(jī)箱組成，數(shù)字表、測(cè)試電換檔開關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測(cè)量變換開關(guān)以及電調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、保險(xiǎn)管及四探針連接插zuo。機(jī)箱底板上字裝了主機(jī)板。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件，便于拆卸維修。